微波等離子清洗作為一種綠色無污染的高精密干法清洗方式,， 可以有效去除表面污染物,，避免靜電損傷,。 簡述了微波等離子清洗的原理及特點(diǎn),，介紹了設(shè)備的構(gòu)成,、清洗工藝和模式,，對微波導(dǎo)入和微波源與負(fù)載的匹配兩個(gè)關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了研究；通過工藝驗(yàn)證,，微波等離子清洗降低了接觸角度,，提高了引線鍵合強(qiáng)度。

在集成電路的制程中,，會產(chǎn)生許多種類的污染物,，包括氟化樹脂、氧化物,、環(huán)氧樹脂,、焊料、光刻蝕劑等,，這些污染物將嚴(yán)重影響集成電路及其元器件的可靠性和合格率。等離子清洗作為一種能有效去除表面污染物的工藝技術(shù)被廣泛應(yīng)用于集成電路的制程中,。隨著工藝技術(shù)水平的不斷提高,，集成電路的規(guī)模和復(fù)雜程度越來越高，生產(chǎn)中采用的新材料,、新結(jié)構(gòu),、新器件不斷出現(xiàn)，傳統(tǒng)等離子清洗技術(shù)在去除表面污染物的同時(shí)卻不能有效避免靜電損傷,。

在日常工作中,，個(gè)人身體所帶的靜電是在 1~2 kV 的區(qū)間內(nèi)，人體一般無法察覺到這個(gè)電壓范圍內(nèi)的靜電,，但敏感的集成電路卻無法承受這個(gè)水平的靜電電壓而受到損傷,，并且 90%的靜電損傷是無法檢測，只有在使用時(shí)才會被發(fā)現(xiàn),，這就嚴(yán)重影響集成電路的成品率和可靠性,，這對于敏感電路來說卻是不允許的，基于這個(gè)工藝要求,，在清洗工藝中去除污染物的同時(shí)避免靜電損傷就顯得尤為重要,。本文針對集成電路制程需求，充分利用現(xiàn)有成熟等離子清洗技術(shù),，

重點(diǎn)介紹了微波等離子清洗機(jī)及工藝驗(yàn)證,。

1 微波等離子清洗原理及特點(diǎn)：

等離子體是物質(zhì)存在的一種基本形態(tài) （被稱為物質(zhì)的第四態(tài)）,，是由原子，電子,，分子,，離子或自由基組合而成，等離子清洗就是通過物理,、化學(xué)作用清洗物表面進(jìn)行處理,，實(shí)現(xiàn)被清洗去除分子水平污染物的一種工藝過程，同時(shí)也可提高其表面活性,。

1.1 微波等離子發(fā)生原理

微波等離子是由工作頻率為 2.45 GHz 的微波激發(fā)工藝氣體放電, 在正負(fù)極磁場作用下的諧振腔體內(nèi)產(chǎn)生等離子體,，該諧振腔體位于反應(yīng)倉體旁邊，磁控管連接微波發(fā)生器,，因?yàn)檎麄€(gè)放電過程不需要正負(fù)電極,，所以產(chǎn)生自偏壓極小，從根本上避免了靜電放電損傷,。等離子體激發(fā)頻率和自偏壓的,。

1.2 微波等離子清洗特點(diǎn)

微波等離子清洗與傳統(tǒng)濕法清洗相比，不需要使用大量的酸,、堿,、有機(jī)溶劑等，不會給環(huán)境帶來任何污染,，有利于環(huán)保和人員安全,，同時(shí)該清洗技術(shù)的均勻性、重復(fù)性和可控性非常好,，具有三維處理能力,，可以進(jìn)行方向選擇。微波等離子清洗與低頻或射頻放電產(chǎn)生的等離子體相比,，它的特點(diǎn)是沒有正負(fù)電極,，自偏壓很小，不會產(chǎn)生放電污染,，有效防止靜電損傷,；等離子密度高，生產(chǎn)效率高,；離子運(yùn)動沖擊小,，不會產(chǎn)生 UV（紫外線）輻射，尤其適用于一些敏感電路的制程清洗,。

通過微波等離子清洗后,，工件表面的污染物明顯減少，接觸角明顯降低,，有效改善結(jié)合區(qū)域的表面浸潤性,。

等離子清洗技術(shù)對橡膠的影響分析

通過對 橡膠經(jīng)等離子清洗后的硬度,、拉斷伸長率、拉伸強(qiáng)度及質(zhì)量變化率的試驗(yàn),，考核等離子清洗對該材料的影響,。介紹了等離子清洗過程及試驗(yàn)過，經(jīng)試驗(yàn)驗(yàn)證,，該材料經(jīng)等離子清洗后無明顯質(zhì)量變化,，為確保航空鋁合金口蓋密封性提供了技術(shù)保障。

等離子清洗是在真空狀態(tài)下利用射頻源產(chǎn)生的高壓交變電場,，將工藝氣體震蕩成為具有高能量的離子,，該能量離子可將工件表面的粒污染物分解，然后隨工作氣體一并清除,，是一種較為徹底的剝離式的干式清洗,。航空鋁合金口蓋硫酸陽極氧化后在口蓋外緣部位壓合橡膠并經(jīng)硫化處理，在 腈橡膠硫化時(shí)經(jīng)常會擠出多余的膠料,，該膠料滲透到陽極氧化膜層內(nèi),，影響表面涂裝。

等離子清洗可應(yīng)用于去除鋁合金硫化橡膠口蓋的硫酸陽極氧化膜層表面的膠轉(zhuǎn)移污染,，在清洗膠轉(zhuǎn)移污染時(shí),，高能量的離子同時(shí)轟擊橡膠表面。

采用橡膠為原材料,，按現(xiàn)有施工要求對硫化橡膠進(jìn)行等離子清洗試驗(yàn),，通過對清洗后硫化橡膠的硬度、拉斷伸長率,、拉伸強(qiáng)度及清洗前后的質(zhì)量變化率，分析了等離子清洗過程對該橡膠自身性能的影響,。

等離子清洗后的橡膠,，硬度、拉伸強(qiáng)度,、拉斷伸長率無明顯變化,，且測試結(jié)果均符合該橡膠技術(shù)指標(biāo)要求。橡膠重量雖有輕微降低,，但并不影響其綜合性能,。丁腈橡膠經(jīng)該等離子清洗工藝后，橡膠綜合性能可以滿足工藝及使用要求,，為使用等離子清洗橡膠硫化后的鋁合金硫酸陽極氧化膜膠轉(zhuǎn)移污染提供了技術(shù)支持,。