等離子清洗機(jī)中的等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài),、液態(tài),、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在,，如地球大氣中電離層中的物質(zhì),。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì)：處于高速運動狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子,、分子,、原子團(tuán)（自由基）；離子化的原子,、分子,；未反應(yīng)的分子、原子等,，但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài),。

　　在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體,，通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面,。以達(dá)到清洗目的。

等離子清洗機(jī)清洗原理：

　　1.激活鍵能,，交聯(lián)作用

　　等離子體中的粒子能量在0~20eV,，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后,，可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂,，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，大大地激活了表面活性,。

　　2.對材料表面的刻蝕作用--物理作用

　　 等離子清洗機(jī)中的大量離子,、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子,，作用到固體樣品表面,，不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì),，而且會產(chǎn)生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙,，形成許多微細(xì)坑洼,，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能,。

　　3.形成新的官能團(tuán)--化學(xué)作用

如果放電氣體中引入反應(yīng)性氣體,，那么在活化的材料表面會發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，引入新的官能團(tuán),，如烴基,、氨基、羧基等,，這些官能團(tuán)都是活性基團(tuán),，能明顯提高材料表面活性。