隨著高科技產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,，各種工藝對使用產(chǎn)品的技術(shù)要求越來越高，等離子表面處理技術(shù)的出現(xiàn),，不僅改進了產(chǎn)品性能,、提高了生產(chǎn)效率，（等離子表面處理）更實現(xiàn)了安全環(huán)保效應,。等離子表面處理技術(shù)能夠在材料科學,、高分子科學、生物醫(yī)藥材料學,、微流體研究,、微電子機械系統(tǒng)研究、光學,、顯微術(shù)和牙科醫(yī)療等領(lǐng)域得到應用,。

正是這種廣泛的應用領(lǐng)域和巨大的發(fā)展空間使等離子表面處理技術(shù)迅速在國外發(fā)達國家發(fā)展起來。（等離子表面處理）

等離子表面處理技術(shù)原理及應用

等離子,，即物質(zhì)的第四態(tài),，是由部分電子被剝奪后的原子以及原子被電離后產(chǎn)生的正負電子組成的離子化氣狀物質(zhì)。（等離子表面處理）這種電離氣體是由原子,，分子,，原子團，離子,，電子組成,。其作用在物體表面可以實現(xiàn)物體的超潔凈清洗、物體表面活化,、蝕刻 ,、精整以及等離子表面涂覆。（等離子表面處理）根據(jù)等離子體中存在微粒的不同,，其具體可以實現(xiàn)對物體處理的原理也各不相同,，加之輸入氣體以及控制功率的不同，都實現(xiàn)了對物體處理的多樣化,。 （等離子表面處理）因低溫等離子體對物體表面處理的強度小于高溫等離子體,，能夠?qū)崿F(xiàn)對處理物體表面的保護作用，應用中我們使用的多為低溫等離子體,。并且各種粒子在對物體處理過程中所表現(xiàn)出來的作用也個不相同的,，

原子團（自由基）主要是實現(xiàn)對物體表面化學反應過程中能量傳遞的“活化”作用；

電子對物體表面作用主要包括兩方面： 一方面是對物體表面的撞擊作用,，另一方面是通過大量的電子撞擊引起化學反應,；（等離子表面處理）離子通過濺射現(xiàn)象實現(xiàn)對物體表面的處理,；紫外線通過光能使物體表面的分子鍵斷裂分解，并且增強穿透能力,。

等離子表面處理技術(shù)的優(yōu)勢,，（等離子表面處理）等離子表面處理技術(shù)是干式處理法，

替代了傳統(tǒng)的濕法處理技術(shù)具有以下優(yōu)勢： 1. 環(huán)保技術(shù)：等離子體作用過程是氣固相干式反應,，不消耗水資源,、無須添加化學藥劑 2. 效率高：整個工藝能在較短的時間內(nèi)完成 3.

成本低：裝置簡單，容易操作維修,，少量氣體代替了昂貴的清洗液,，（等離子表面處理）同時也無處理廢液成本 4. 處理更精細：能夠深入微細孔眼和凹陷的內(nèi)部并完成清洗任務 5. 適用性廣：等離子表面處理技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)對大多數(shù)固態(tài)物質(zhì)的處理，因此應用的領(lǐng)域非常廣泛,、

等離子表面處理技術(shù)前景??隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,，（等離子表面處理）特別是通信產(chǎn)品、電腦及部件,、半導體,、液晶及光電子產(chǎn)品對超精密工業(yè)清洗設備和高附加值設備 的比例要求逐步增大，

等離子表面處理設備已經(jīng)成為很多電子信息產(chǎn)業(yè)的基礎設備,。并且隨著行業(yè)技術(shù)要求的不斷提高,，等離子清洗技術(shù)將在國內(nèi)有更加廣闊的發(fā)展空間。（等離子表面處理） 隨著汽車行業(yè)的高速發(fā)展,，

國外的很多生產(chǎn)廠家把目標所向中國市場,，加之很多零配件的生產(chǎn)廠家也入住中國，

這些都對清洗提出了新的技術(shù)要求,，可以說等離子清洗技術(shù)更加適應了汽車行業(yè)的發(fā)展,。

醫(yī)療器械使用前的處理工藝非常精細，（等離子表面處理）使用氟里昂清洗不但浪費資源而且成本也非常的昂貴,，而等離子表面處理技術(shù)的使用避免了使用化學物質(zhì)的弊端,，而且也更加適應了現(xiàn)代醫(yī)療科技的技術(shù)要求。 （等離子表面處理）光學器件和一些光學產(chǎn)品對清洗的技術(shù)要求非常高,，等離子表面處理技術(shù)在此領(lǐng)域可以得到更加廣泛的運用,。 （等離子表面處理）等離子表面處理技術(shù)能夠應用的行業(yè)非常廣泛，也會成為科研院所,、醫(yī)療機構(gòu),、生產(chǎn)加工企業(yè)越來越推崇的處理工藝。