探針臺(tái)是半導(dǎo)體行業(yè)重要的檢測裝備之一，其廣泛應(yīng)用于復(fù)雜,、 高速器件的精密電氣測量,，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本,。
半導(dǎo)體測試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類：驗(yàn)證測試,、晶圓測試測試、封裝檢測,。探針臺(tái)主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測,、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。除探針臺(tái)外,，晶圓檢測環(huán)節(jié)還需要使用測試儀/機(jī),，測試儀/機(jī)用于檢測芯片功能和性能，探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)被測芯片與測試機(jī)的連接,，通過探針臺(tái)和測試機(jī)的配合使用,，可以對晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測試或射頻測試，可以對芯片的良品,、不良品的進(jìn)行篩選,。
探針臺(tái)由哪些部分組成？
1.樣品臺(tái)（載物臺(tái)）
載物臺(tái)是定位晶圓或芯片的部件設(shè)備,。通常會(huì)根據(jù)晶圓的尺寸來設(shè)計(jì)大小,，并配套了相應(yīng)的精密移動(dòng)定位功能?？寺逯Z斯科技自主研發(fā)的超精密氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)就是作為定位晶圓或芯片的部件設(shè)備,，重復(fù)定位精度達(dá)±50納米，可以依靠精密機(jī)械運(yùn)作在極短的曝光時(shí)間內(nèi)完美定位,，完成晶圓在量測端的極精密的檢測,。
2.光學(xué)元件
這個(gè)部件的作用是能夠從視覺上放大觀察待測物，以便精確地將探針尖端對準(zhǔn)并放置在待測晶圓/ 芯片的測量點(diǎn)上,。
3.卡盤
有一個(gè)非常平坦的金屬表面,，卡盤用夾具來固定待測物，或使用真空來吸附晶圓,。
探針臺(tái)如何工作,？
探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片，并精確定位待測物,。手動(dòng)探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,，并使用顯微鏡將探針尖端放置到待測物上的正確位置,。一旦所有探針尖端都被設(shè)置在正確的位置，就可以對待測物進(jìn)行測試,。
對于帶有多個(gè)芯片的晶圓,，使用者可以抬起壓盤，壓盤將探針頭與芯片分開,，然后將工作臺(tái)移到下一個(gè)芯片上,，使用顯微鏡找到精確的位置，壓板降低后下一個(gè)芯片可以進(jìn)行測試,。半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺(tái)和機(jī)器視覺來自動(dòng)化這個(gè)移動(dòng)過程,，提高了探針臺(tái)生產(chǎn)率。
探針臺(tái)的作用是什么,？
探針臺(tái)可以將電探針,、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測試儀器/半導(dǎo)體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導(dǎo)體器件,。
晶圓檢測是半導(dǎo)體制造中必不可少的步驟,，選擇合適的晶圓探針臺(tái)和探針來進(jìn)行晶圓檢測也很重要?？寺逯Z斯最新自主研發(fā)的超精密氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)具有極高精度和運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定性,，讓系統(tǒng)在快速運(yùn)行時(shí)，能準(zhǔn)確識(shí)別和測量出晶圓的種種缺陷,，大大提高晶圓檢測效率,。
