1,，微區(qū)分析電子探針分析區(qū)域可以是幾個立方微米，能將微區(qū)化學(xué)成分與顯微結(jié)構(gòu)對應(yīng)起來進(jìn)行點(diǎn)分析（用于選定點(diǎn)的全譜定性分析或其中所含元素的定量分析）,，線分析（用于顯示元素沿選定直線方向上的含量變化）和面分析（用于觀察元素在選定微區(qū)內(nèi)含量分布）,；

2,，元素分析范圍廣配置了能譜儀的電子探針分辨率很高，峰背比高，定量分析準(zhǔn)確,，但樣品表面要平整光滑以方便聚焦,；

3，不損壞試樣電子探針能同時利用掃描電子束得到二次電子或背散射電子的形貌圖像（但是形貌效果不如掃描電子顯微鏡）,，可以獲得更低的元素檢出限,，定量分析更準(zhǔn)確，特別是微區(qū)分析表現(xiàn)突出,。